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SE-5AT​半導體系列|光學檢測設備

智能自動光學3D線共軛焦量測

線共軛焦為非接觸式3D細微表面量測設備

採線掃與共聚焦技術,達到快速微米級之量測

5at線共軛焦光源.png
​3次元量測技術

智能自動光學3D線共軛焦量測備優勢與特色

  • 同時滿足高速、微米級高度段差量測

  • 可搭配點雲AI深度學習系統,進行點雲資訊判讀

  • 可搭配白光干涉顯微系統,作為複判抽檢奈米級量測

  • 適用於晶圓、元件等表面高度之確認

標準機型

自動光學檢測設備規格

設備
3d規格

智能自動光學3D線共軛焦量測

規格
測頭工作距離
Z軸量程
單掃描視野
測頭Z方向理論精度
LineConfocal2.5L
27.8mm
2.5mm
5mm
0.25
LineConfocal1
9.3mm
1.05mm
3.5mm
0.12
LineConfocal5
42mm
5mm
11.9mm
4
LineConfocal3
40mm
3mm
20mm
2.5
LineConfocal2.5p
21.4mm
2.5mm
8mm
2
LineConfocal1.2
13mm
1.25mm
4.5mm
1
LineConfocal10
36mm
10.6mm
11.9mm
8
LineConfocal2.5
27mm
2.5mm
4.4mm
2
LineConfocal0.6
9.2mm
0.68mm
2.36mm
0.5um
3d線共軛焦量測

量測應用

5at線共軛焦1.png
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5at線共軛焦6.png
5at線共軛焦7.png
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