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NON-CONTACT PRECISION MEASUREMENT
PRODUCT
半導體與先進封裝 AOI 光學量測 / 檢測設備
Defect Inspection Systems
二維缺陷與瑕疵檢測系統
和全豐針對半導體基板表面的宏觀與微觀瑕疵，提供高速、高解析度的非破壞性檢測方案。
Metrology Systems
三維關鍵尺寸與幾何量測系統
BUENO OPTICS 針對先進封裝的高深寬比結構與晶圓形變，提供微/奈米級的三維幾何特徵量測。
TGV / TSV Dedicated Solutions
穿孔專用量測方案
和全豐針對次世代玻璃穿孔與矽穿孔製程，提供高深寬比結構的精確量測與缺陷攔截。
精密光學，引領製成極限
BUENO OPTICS 專注於開發具備高解析度、高穩定性與智能分析能力的量測系統。從先進封裝的 3D 微結構量測到晶圓表面的粒子監控，和全豐提供全方位的工業級解決方案。
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