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智能自動光學3D線共軛焦量測(線掃描)
線共軛焦為非接觸式3D細微表面量測設備 採線掃與共軛焦技術達到快速微米級之量測
智能自動光學3D白光干涉/共軛焦量測
白光干涉儀為非接觸式3D顯微表面量測設備 採用干涉與共聚焦技術,達到奈米級之量測
智能自動共軛焦晶圓厚度量測設備
多功能晶圓量測儀,採上下高精度白光共軛焦感測器進行晶圓之厚度、翹曲度等量測
光學式智能線掃/面陣視覺檢查設備
適用於晶圓、光罩等平面載體表面瑕疵檢測,結合AI與影像處理辨識異物刮傷與孔洞