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智慧自動光學3D線共軛焦測量設備
設備簡介
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利用共聚焦原理和線掃描，能夠達到微米級的高度和段差測量，並且垂直解析度可達到奈米級。
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線掃描方式能夠一次掃描一整條線，相比于傳統的單點掃描，大大提高了測量速度和效率，適合於高速、3D大面積測量的應用。線共焦技術可以測量各種材料，甚至包括複雜的3D幾何形狀和傾斜表面也不會產生陰影。
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設備簡介
利用共聚焦原理和線掃描，能夠達到微米級的高度和段差測量，並且垂直解析度可達到奈米級。
線掃描方式能夠一次掃描一整條線，相比于傳統的單點掃描，大大提高了測量速度和效率，適合於高速、3D大面積測量的應用。線共焦技術可以測量各種材料，甚至包括複雜的3D幾何形狀和傾斜表面也不會產生陰影。