2D光學式瑕疵檢測＆TGV/TSV孔洞量測 (3D NIR) | BUENOOPTICS和全豐光電

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2D光學式瑕疵檢測＆TGV/TSV孔洞量測 (3D NIR)

線掃顯微瑕疵檢測設備

本設備主要適用於晶圓、面板、平坦物之表面1um以上瑕疵高速檢測應用。

面陣顯微瑕疵檢測設備

本設備主要適用於晶圓、面板、平坦物之表面瑕疵顯微檢測應用。

雷射散射晶圓表面粒子檢測設備

本設備主要適用於無pattern平坦物之表面0.1um以上粉塵高速檢測應用。

晶圓邊緣量測設備

本設備主要適用於晶圓notch、邊緣側邊導角之相關數值量測。

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TGV雷改檢測設備

本設備主要適用於TGV雷改之相關檢測應用，檢測包含通孔、座標、漏孔等。

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TGV蝕刻檢測設備

本設備主要適用於TGV蝕刻之相關檢測應用，檢測包含角度、腰身、直徑、真圓度、座標等。

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3D NIR孔徑自動測量設備

本設備主要適用於TSV(RSV深度)、TGV顯微檢測之應用

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