同時滿足顯微檢測與物體表面三維測量的需求，可進行粗糙度測量、膜厚測量、3D輪廓分析、微結構分析等更多奈米等級的多功能檢測。

可以獲取完整的3D輪廓資訊，適用於分析複雜表面結構和特性，如薄膜厚度、材料變形。