高精度表面瑕疵檢測，AI智慧判讀加值解決方案

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本光學檢測設備專為各類平面式載體材料設計，整合高解析成像模組與AI視覺辨識演算法，能快速精準地偵測異物（Particle）、刮傷、孔洞等表面瑕疵，適用於晶圓檢查、光罩檢測、SIC晶片及透明載體等高標準應用場域。支援線掃與面陣鏡頭選配，涵蓋低倍率到高倍率觀察需求，搭載紅外線自動對焦技術，亦能穩定對應透明與半透明材質。透過AI深度學習、影像相減與灰階比對演算，本設備不僅提升瑕疵檢出率，也具備優異的系統彈性與客製化潛力，適合導入於半導體製程、光電產線、高階材料品管等領域。