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2D AUTOMATED OPTICAL INSPECTION
結合先進光學架構、AI與深度學習演算法、以及高度自動化整合的 AI+AOI(自動光學檢測) 系統,設備應用於半導體先進封裝(如 FOPLP / CoWoS / CoPoS)、晶圓檢測、被動元件、精密電子等領域。
MODULE 01
/ 面陣列顯微檢測系統
支援低倍率至高倍率檢測範圍,適用於各類型的瑕疵檢測需求。
/ 線掃顯微檢測系統
MODULE 02
/ 透明機材與異質材料辨識
具備支援透明基材之缺陷識別的能力,適用於先進封裝中各類異質材料之品質控管。
/ 高倍率光學模組與自動對焦
MODULE 03
/ AI 深度學習缺陷辨識
整合AI深度學習架構,可針對特定缺陷分類與判別訓練,並支援影像相減技術整合進行變異檢出。
/ 影像相減技術
MODULE 04
/ 全自動上下料
具備高彈性自動化接口,可選配半導體標準 EFEM 或多軸機械手臂,達成全自動化之上下料與載具對接製程。
/ 系統相容性
為您的生產線引入 工業級視覺精度
和全豐的技術專家團隊隨時待命,為您量身打造最合適的瑕疵檢測方案。